用于半导体晶圆检测的解决方案

在LED芯片的生产过程中，其晶体缺陷、器件缺陷、表面沾污等不良均会导致器件质量下降甚至失效，导致降低生产良率。对光电器件材料的全面表征可以在芯片制造环节中尽早发现问题，最大化的降低损失。另外，通过对检测结果的分析与归纳，还可以分析芯片制程中存在的潜在问题，为工艺优化提供更准确的方向。

TFT-LCD显示面板表面质量的检测方案

公司的研发团队深入研究了TFT-LCD半导体显示面板的表面质量缺陷，根据其形貌和本身特性开发了专用的光学方案。在获得高对比度和高精度图像的基础上，团队研发了配套的算法并建立了科学的数据模型。该方案能够实现TFT-LCD半导体显示面板行业检测表面质量缺陷的人工替代，引领该领域的质量检测由低效转至高效，由低质转至高质，由主观转至科学。

精密光学元件的表面质量检测方案

通过扫描电子显微镜等手段，深入研究了一般光学元件的表面疵病。针对精密光学元件的点状、线状等缺陷，我们开发了复合光学系统用于检测光学元件的落尘、麻点和划痕。同时，我们也研发了适应于不同尺寸、不同场景的样品载具。专用的算法方案嵌入国际检测标准，能够帮助国内玻璃材料企业进行准确的、规范的、科学的表面质量检测。